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新加坡实德科技有限公司北京办事处

  

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                疑难解答
           

扩散工程师们在用硼源片或磷源片的时候,每隔一段时间,都会遇到一些特定问题。如果发生这种情况,我们的经验是,只要稍加修改目前的工艺参数和程序,通常能使生产过程恢复正常。考虑到这一点,我们编译了下面的表格。它列出了扩散工程师经常会遇到一些问题,它概述了这些问题的常见原因,同时也包含了一些解决问题的建议。
请注意,本公告所载资料是非常一般的,只应作为系统故障排除的指南。如果有任何问题无法解决,请与我们联系,我们会提供更多的协助。

                  源片问题

      

问题

可能原因

建议的解决方案

参考*

翘曲

温度过高

使用正确的源片

 

较高的温度梯度

  • 减少推/拉时温度和速率
  • 减少斜率
  • 在“象”冷却
  • 定期转动石英船

工艺参数

源片与船粘合

(见“粘附”)
定期将源片在槽内转动

载体设计

插槽过紧

见“粘附”

载体设计

源片之间无硅

使用时在源片之间放置硅

老化

 

 

 

 

粘附
(船的碎片粘在源片上或源片的碎片粘在船上)

温度过高

使用正确的源片

 

源片老化温度过高时间过长

遵循推荐的老化过程

老化

载船设计错误

  • 蚀刻或重新切割槽
  • 增加侧轨距离

载体设计

船上和插槽内B2O3 或者P2O5过量

  • 用稀HF清洗船
  • 定期将源片在槽内转动

存放

 

 

 

 

断裂

过度翘曲

查看“翘曲”和“粘附”相关问题

 

源片之间无硅

使用时在源片之间放置硅

老化

热冲击

  • 减少推/拉时温度和速率
  • 减少斜率

工艺参数

 

 

 

 

黑点

切削液问题

在25-100%氧气中重新老化

老化
硼源片的清洗
磷源片的清洗